Ultra-Precision SiC Air-Bearing Stage

Mubo nga Deskripsyon:

Uban sa padayon nga ebolusyon sa industriya sa semiconductor, ang mga kagamitan sa pagproseso ug inspeksyon nanginahanglan ug mas taas nga performance. Base sa halapad nga kahanas sa motion control ug nanometer-level positioning, nakaugmad kami ug planar H-type dual-axis ultra-precision air-bearing stage.

Padad-i kami og email

Mga Kinaiya

Detalyado nga Dayagram

Kinatibuk-ang Pagtan-aw

Gidisenyo gamit ang finite-element-optimized silicon carbide (SiC) ceramic structure ug compensated air-bearing technology, ang entablado naghatag ug talagsaong katukma, kalig-on, ug dinamikong tubag. Kini haom alang sa:

Pagproseso ug inspeksyon sa semiconductor
Paggama ug metrolohiya sa mikro/nano
Pagputol ug pagpasinaw sa langaw nga sama sa sukdanan sa nanometro
Taas nga tulin nga katukma sa pag-scan

Pangunang mga Kinaiya

Giya sa pagdala sa hangin nga SiCpara sa ultra-high stiffness ug precision
Taas nga dinamika: katulin hangtod sa 1 m/s, pagpadali hangtod sa 4 g, paspas nga paghusay
Dual-drive gantry Y-axisnagsiguro sa taas nga kapasidad sa pagkarga ug kalig-on
Mga opsyon sa encoder: optikal nga grating o laser interferometer
Katukma sa pagposisyon: ±0.15 µm;pagkabalik-balik: ±75 nm
Gi-optimize nga ruta sa kablepara sa limpyo nga disenyo ug kasaligan sa dugay nga panahon
Mapasibo nga mga konpigurasyonpara sa mga panginahanglanon nga espesipiko sa aplikasyon

Ultra-Precision nga Disenyo ug Direct-Drive, Non-Contact nga Arkitektura

SiC Seramik nga Balangkas: ~5× ang katig-a sa aluminum alloy ug ~5× nga mas ubos nga thermal expansion, nga nagsiguro sa high-speed nga kalig-on ug thermal robustness.
Gibayran nga Air-Bearing: Ang kaugalingong disenyo nagpalambo sa kalig-on, kapasidad sa karga, ug kalig-on sa paglihok.
Dinamikong Pagpasundayag: Mosuporta sa 1 m/s nga tulin ug 4 g nga acceleration, sulundon alang sa mga proseso nga taas og throughput.
Walay Hapsay nga Paghiusa: Nahiuyon sa mga sistema sa pag-isolate sa vibration, mga rotary stage, mga tilt module, ug mga plataporma sa pagdumala sa wafer.
Pagdumala sa Kable: Ang kontroladong bending radius nagpamenos sa stress para sa mas taas nga kinabuhi sa serbisyo.

Walay Core nga Linear nga Motor: Hamis nga paglihok nga walay kusog nga pagkurog.
Multi-Motor Drive: Ang pagbutang sa load-plane motor nagpauswag sa pagkatul-id, pagkapatag, ug angular nga katukma.
Pag-inusara sa InitAng mga motor gilain gikan sa istruktura sa entablado; opsyonal nga pagpabugnaw sa hangin o tubig para sa mga high-duty nga siklo.

Mga Espesipikasyon

Modelo	400-400	500-500	600-600
Mga wasay	X (scan) / Y (lakang)	X (scan) / Y (lakang)	X (scan) / Y (lakang)
Pagbiyahe (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Katukma (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Pagkabalik-balik (nm)	±75	±100	±100
Resolusyon (nm)	0.3	0.3	0.3
Pinakataas nga Katulin (m/s)	1	1	1
Pagpadali (g)	4	4	4
Pagkatul-id (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Kalig-on (nm)	±5	±5	±5
Kinatas-ang Karga (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Mga Kondisyon sa Pagsulay:

Suplay sa hangin: limpyo, uga; dew point ≤ 0°F; particle filtration ≤ 0.25 μm; o 99.99% nitroheno.
Ang katukma gisukod 25 mm ibabaw sa sentro sa entablado sa 20±1 °C, 40–60% RH.

Mga Aplikasyon

Litograpiya sa semiconductor, inspeksyon, ug pagdumala sa wafer
Paggama sa micro/nano ug metrolohiya sa katukma
Paggama sa taas nga kalidad nga optika ug interferometry
Aerospace ug abanteng siyentipikong panukiduki

Mga Kanunayng Gipangutana (FAQ) – Entablado sa Pagdala og Hangin nga Silicon Carbide

1. Unsa ang usa ka yugto nga nagdala og hangin?

Ang usa ka entablado nga adunay hangin mogamit ug nipis nga pelikula sa presyurado nga hangin taliwala sa entablado ug giya aron makahatagwalay friction, walay pagkaguba, ug ultra-smooth nga paglihokDili sama sa naandan nga mekanikal nga mga bearings, kini nagwagtang sa pagka-slip, naghatag og katukma nga lebel sa nanometer, ug nagsuporta sa dugay nga kasaligan.

2. Ngano nga gamiton ang silicon carbide (SiC) para sa istruktura sa entablado?

Taas nga katig-a: ~5× sa aluminum alloy, nga nagpamenos sa deformation atol sa dinamikong paglihok.
Ubos nga pagpalapad sa kainit: ~5× nga mas ubos kay sa aluminum, nga nagmintinar sa katukma bisan pa sa mga pagbag-o sa temperatura.
Magaan: Mas ubos nga densidad kon itandi sa asero, nga makapahimo sa taas nga tulin ug taas nga akselerasyon nga operasyon.
Maayo kaayo nga kalig-on: Labing maayo nga damping ug rigidity para sa ultra-precision nga pagposisyon.

3. Kinahanglan ba og lubrication o maintenance ang stage?

Dili kinahanglan ang tradisyonal nga lubrication tungod kay naawalay mekanikal nga kontakAng girekomendar nga pagmentinar naglakip sa:

Pagsuplaylimpyo, uga nga compressed air o nitrogen
Panagsa nga inspeksyon sa mga filter ug dryer
Pagmonitor sa mga kable ug mga sistema sa pagpabugnaw

4. Unsa ang mga kinahanglanon sa suplay sa hangin?

Tumoy sa yamog: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Pagsala sa partikulo: ≤ 0.25 μm
Limpyo, uga nga hangin o 99.99% puro nga nitroheno
Lig-on nga presyur nga adunay gamay nga pag-usab-usab

Mahitungod Kanamo

Ang XKH espesyalista sa high-tech nga pagpalambo, produksiyon, ug pagbaligya sa espesyal nga optical glass ug bag-ong mga materyales nga kristal. Ang among mga produkto nagsilbi sa optical electronics, consumer electronics, ug militar. Nagtanyag kami og Sapphire optical components, mobile phone lens covers, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ug semiconductor crystal wafers. Uban sa hanas nga kahanas ug pinakabag-o nga kagamitan, kami maayo sa non-standard nga pagproseso sa produkto, nga nagtumong nga mahimong usa ka nanguna nga optoelectronic materials high-tech nga negosyo.