SiC ceramic tray plate graphite nga adunay CVD SiC coating alang sa mga kagamitan

Ang SiC ceramic tray plate graphite nga adunay CVD SiC coating alang sa kagamitan nga Featured Image

Mubo nga Deskripsyon:

Ang Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. naggama og Φ380mm–Φ600mm semiconductor etching disk, wafer bearing disk, silicon carbide tray, SIC tray, silicon carbide tray, ICP etching tray, etching tray, silicon carbide purity> 99.9%, SIC tray service life upat ka pilo sa graphite-based CVD tray, dugay nga paggamit nga walay deformation, Resistant sa FH acid, concentrated H2So4 corrosion.

Ipadala ang email kanamo

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Ang silicone carbide ceramics dili lamang gigamit sa thin film deposition stage, sama sa epitaxy o MOCVD, o sa wafer processing, sa kasingkasing diin ang wafer carrier trays alang sa MOCVD una nga gipailalom sa deposition environment, ug busa makasugakod kaayo sa init ug corrosion.SiC-coated carrier usab adunay taas nga thermal conductivity ug maayo kaayo nga thermal distribution properties.

Pure Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC) wafer carriers alang sa taas nga temperatura nga Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) nga pagproseso.

Ang lunsay nga CVD SiC wafer carriers mas labaw kay sa naandan nga wafer carriers nga gigamit niini nga proseso, nga graphite ug adunay sapaw sa usa ka layer sa CVD SiC. kini nga adunay sapaw nga graphite-based nga mga carrier dili makasugakod sa taas nga temperatura (1100 ngadto sa 1200 degrees Celsius) nga gikinahanglan alang sa GaN deposition sa karon nga taas nga kahayag asul ug puti nga gipangulohan. Ang taas nga temperatura hinungdan nga ang coating makahimo og gagmay nga mga pinhole diin ang mga kemikal sa proseso makaguba sa graphite sa ilawom. Ang mga graphite nga mga partikulo unya ma-flake ug mahugawan ang GaN, hinungdan nga mapulihan ang coated wafer carrier.

Ang CVD SiC adunay kaputli nga 99.999% o labaw pa ug adunay taas nga thermal conductivity ug thermal shock resistance. Busa, kini makasugakod sa taas nga temperatura ug mapintas nga mga palibot sa taas nga kahayag LED manufacturing. Kini usa ka solidong monolithic nga materyal nga nakaabot sa teoretikal nga densidad, nagpatunghag gamay nga mga partikulo, ug nagpakita sa taas kaayo nga kaagnasan ug pagsukol sa erosion. Mahimong mabag-o sa materyal ang opacity ug conductivity nga wala’y pagpaila sa mga hugaw sa metal. Ang mga wafer carrier kasagarang 17 ka pulgada ang diyametro ug makakupot ug hangtod sa 40 2-4 ka pulgada nga mga wafer.