p-type 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC substrate 4inch 〈111〉± 0.5°Zero MPD
4H/6H-P Type SiC Composite Substrates Common parameter table
4 pulgada nga diametro SiliconCarbide (SiC) Substrate Espesipikasyon
Grado | Zero MPD Production Grado (Z grado) | Standard nga Produksyon Grado (P grado) | Dummy nga Grado (D grado) | ||
Diametro | 99.5 mm~100.0 mm | ||||
Gibag-on | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientasyon sa Wafer | Off axis: 2.0°-4.0°paingon [1120] ± 0.5° alang sa 4H/6H-P, On axis: 〈111〉± 0.5° para sa 3C-N | ||||
Densidad sa Micropipe | 0 cm-2 | ||||
Pagkasukol | p-type nga 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
n-type nga 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Panguna nga Flat Orientation | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
3C-N | - {110} ± 5.0° | ||||
Panguna nga Patag nga Gitas-on | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Secondary Flat nga Gitas-on | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Secondary Flat Orientation | Silicon face up: 90° CW. gikan sa Prime flat±5.0° | ||||
Eksklusyon sa Edge | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Pagkagahi | Polish Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Edge Cracks Pinaagi sa High Intensity Light | Wala | Cumulative gitas-on ≤ 10 mm, single length≤2 mm | |||
Hex Plate Pinaagi sa Taas nga Intensity nga Kahayag | Cumulative area ≤0.05% | Cumulative area ≤0.1% | |||
Mga Polytype nga Lugar Pinaagi sa Taas nga Intensity nga Kahayag | Wala | Cumulative area≤3% | |||
Biswal nga Carbon Inklusyon | Cumulative area ≤0.05% | Kumulatibo nga lugar ≤3% | |||
Silicon Surface scratches Pinaagi sa Taas nga Intensity Light | Wala | Cumulative length≤1×wafer diametro | |||
Edge Chips Taas Pinaagi sa Intensity Light | Wala gitugotan ≥0.2mm gilapdon ug giladmon | 5 gitugotan, ≤1 mm matag usa | |||
Kontaminasyon sa Silicon Surface Pinaagi sa Taas nga Intensity | Wala | ||||
Pagputos | Multi-wafer Cassette o Single Wafer Container |
Mubo nga sulat:
※Ang mga limitasyon sa depekto magamit sa tibuok nga wafer surface gawas sa edge exclusion area. # Ang mga garas kinahanglan nga susihon sa Si nawong lamang.
Ang P-type 4H/6H-P 3C-N type 4-inch SiC substrate nga adunay 〈111〉± 0.5° orientation ug Zero MPD nga grado kay kaylap nga gigamit sa high-performance electronic applications. Ang maayo kaayo nga thermal conductivity ug taas nga breakdown boltahe naghimo niini nga sulundon alang sa mga elektronik nga kuryente, sama sa mga high-voltage switch, inverters, ug mga converter sa kuryente, nga naglihok sa grabe nga mga kahimtang. Dugang pa, ang pagsukol sa substrate sa taas nga temperatura ug kaagnasan nagsiguro nga lig-on ang pasundayag sa mapintas nga mga palibot. Ang tukma nga 〈111〉± 0.5° nga oryentasyon nagpauswag sa katukma sa paggama, nga naghimo niini nga angay alang sa mga aparato sa RF ug mga aplikasyon sa high-frequency, sama sa mga sistema sa radar ug kagamitan sa komunikasyon sa wireless.
Ang mga bentaha sa N-type nga SiC composite substrates naglakip sa:
1. Taas nga Thermal Conductivity: Episyente nga pagwagtang sa kainit, nga naghimo niini nga angay alang sa taas nga temperatura nga mga palibot ug taas nga gahum nga mga aplikasyon.
2. Taas nga Breakdown Voltage: Gisiguro ang kasaligan nga performance sa high-voltage nga mga aplikasyon sama sa mga power converter ug inverters.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) Grado: Gigarantiya ang gamay nga mga depekto, naghatag kalig-on ug taas nga kasaligan sa mga kritikal nga elektronik nga mga himan.
4. Pagsukol sa Kaagnasan: Malungtaron sa mapintas nga mga palibot, pagsiguro sa dugay nga pagpaandar sa lisud nga mga kahimtang.
5. Tukma nga 〈111〉± 0.5° Orientation: Nagtugot alang sa tukma nga pag-align sa panahon sa paghimo, pagpaayo sa performance sa device sa high-frequency ug RF nga mga aplikasyon.
Sa kinatibuk-an, ang P-type 4H/6H-P 3C-N type 4-inch SiC substrate nga adunay 〈111〉± 0.5° nga oryentasyon ug Zero MPD nga grado usa ka high-performance nga materyal nga sulundon alang sa advanced electronic applications. Ang maayo kaayo nga thermal conductivity ug taas nga breakdown boltahe naghimo niini nga perpekto alang sa mga elektronik nga kuryente sama sa mga high-voltage switch, inverters, ug mga converter. Ang Zero MPD nga grado nagsiguro sa gamay nga mga depekto, nga naghatag og kasaligan ug kalig-on sa mga kritikal nga mga himan. Dugang pa, ang pagsukol sa substrate sa kaagnasan ug taas nga temperatura nagsiguro sa kalig-on sa mapintas nga mga palibot. Ang tukma nga 〈111〉± 0.5° nga oryentasyon nagtugot alang sa tukma nga pag-align sa panahon sa paghimo, nga naghimo niini nga angayan kaayo alang sa mga RF device ug high-frequency nga mga aplikasyon.