High-Performance Alumina Ceramic End Effector (Fork Arm) para sa Semiconductor ug Cleanroom Automation
Detalyadong Diagram


Pagpaila sa Produkto

Ang Alumina Ceramic End Effector, nga gitawag usab nga ceramic fork arm o robotic ceramic hand, usa ka high-precision handling component nga gidisenyo alang sa mga automated system sa semiconductor, photovoltaic, panel display, ug high-purity nga laboratory environment. Gidisenyo kini aron mahatagan ang talagsaon nga kalig-on sa thermal, mekanikal nga rigidity, ug resistensya sa kemikal, nga nagtanyag limpyo, kasaligan, ug luwas nga pagdala sa mga sensitibo nga materyales sama sa mga wafer sa silicon, mga substrate sa baso, ug mga sangkap sa elektroniko nga micro.
Ingon usa ka tipo sa robotic end effector, kini nga seramik nga sangkap mao ang katapusan nga interface tali sa sistema sa automation ug sa workpiece. Nagdula kini usa ka kritikal nga papel sa pagbalhin sa katukma, pag-align, pagkarga / pagdiskarga, ug mga buluhaton sa pagposisyon sa mga limpiyo ug vacuum nga palibot.
Overview sa Materyal - Alumina Ceramic (Al₂O₃)
Ang alumina nga seramik usa ka lig-on ug chemically inert nga teknikal nga seramik nga materyal nga nailhan tungod sa maayo kaayo nga mekanikal ug elektrikal nga mga kabtangan. Ang high-purity (≥ 99.5%) nga alumina nga gigamit niining mga end effectors nagsiguro:
-
Taas nga katig-a (Mohs 9): Ikaduha lamang sa diamante, ang alumina naghatag ug grabeng pagsukol sa pagsul-ob.
-
Taas nga temperatura nga kapabilidad: Nagmintinar sa integridad sa estruktura labaw sa 1600°C.
-
Kemikal nga pagkawalay gana: Makasugakod sa mga asido, alkali, solvent, ug plasma etching environment.
-
Electrical insulation: Uban sa taas nga dielectric nga kusog ug ubos nga dielectric nga pagkawala.
-
Ubos nga pagpalapad sa thermal: Pagsiguro sa dimensional nga kalig-on sa thermal cycling environment.
-
Ubos nga henerasyon sa partikulo: Importante alang sa pagkaangay sa limpyo nga lawak (Klase 10 hangtod Klase 1000).
Kini nga mga bahin naghimo sa alumina nga seramik nga sulundon alang sa kritikal nga misyon nga mga operasyon sa mga industriya nga sensitibo sa kontaminasyon.
Functional nga mga Aplikasyon
Ang alumina ceramic end effector kaylap nga gisagop sa high-tech nga mga proseso sa industriya, ilabina kung ang tradisyonal nga metal o plastik nga mga materyales nahulog tungod sa pagpalapad sa init, kontaminasyon, o mga isyu sa corrosion. Ang panguna nga mga natad sa aplikasyon naglakip sa:
- Semiconductor wafer pagbalhin
- Mga sistema sa pagkarga ug pagdiskarga sa photolithography
- Pagdumala sa glass substrate sa mga linya sa OLED ug LCD
- Ang kristal nga silicon wafer nga pagbalhin sa paghimo sa solar cell
- Automated optical o microelectronic inspeksyon
- Sample nga transportasyon sa analytical o biomedical labs
- Vacuum nga sistema sa automation sa palibot
Ang abilidad niini sa pagbuhat nga walay pagpaila sa mga partikulo o static charge naghimo niini nga gikinahanglan alang sa tukma nga robotic nga mga operasyon sa cleanroom automation.

Mga Feature sa Disenyo ug Pag-customize
Ang matag ceramic end effector gi-engineered aron mohaum sa usa ka piho nga robotic arm o wafer handling system. Gisuportahan namo ang bug-os nga pag-customize base sa:
-
Pagkaangay sa gidak-on sa wafer: 2", 4", 6", 8", 12" ug uban pa
-
Geometry sa slot ug gilay-on: Naka-accommodate sa edge grip, back side support, o notched wafer nga mga disenyo
-
Mga pantalan sa pagsuyop: Nahiusa nga mga lungag sa vacuum o mga agianan alang sa pagdumala nga wala’y kontak
-
Pag-mounting configuration: Mga buho, mga hilo, mga slot nga gipahaom sa flange sa tool sa imong robot
-
Pagtambal sa nawong: Gipasinaw, gilaplapan, o pino nga paghuman sa yuta (Ra <0.2 µm anaa)
-
Proteksyon sa kilid: Mga lingin nga suok o chamfering aron malikayan ang pagkadaot sa ostiya
Pinaagi sa paggamit sa mga drowing sa CAD o 3D nga mga modelo nga gihatag sa mga kustomer, ang among mga inhenyero maka-optimize sa matag bukton sa tinidor alang sa gibug-aton, kusog, ug kalimpyo.

Mga Bentaha sa Ceramic End Effectors
Feature | Kaayohan |
---|---|
Taas nga Mechanical Rigidity | Nagmintinar sa dimensional nga katukma ubos sa robotic loading forces |
Maayo kaayo nga Thermal Performance | Masaligan ang pagbuhat sa taas nga temperatura o plasma nga palibot |
Zero Metal Contamination | Walay risgo sa kontaminasyon sa ion sa kritikal nga pagproseso sa semiconductor |
Ubos nga Friction Surface | Gipamenos ang risgo sa scratch sa wafer o glass substrates |
Anti-Static ug Non-Magnetic | Dili makadani sa abog o makaapekto sa magnetic-sensitive nga mga sangkap |
Taas nga Kinabuhi sa Serbisyo | Superior nga pagsukol sa pagsul-ob sa nagbalikbalik nga high-speed nga mga siklo sa automation |
Ultra-Limpyo nga Pagkaangay | Angayan sa ISO 14644 cleanrooms (Class 100 and below) |
Kung itandi sa plastik o aluminyo nga mga bukton, ang alumina nga seramik naghatag labi ka maayo nga kemikal ug pisikal nga kalig-on nga adunay gamay nga kinahanglanon sa pagpadayon.
Property | Metal nga bukton | Plastic nga bukton | Alumina Ceramic nga bukton |
---|---|---|---|
Katig-a | Kasarangan | Ubos | Taas kaayo (Mohs 9) |
Thermal Stability | ≤ 500°C | ≤ 150°C | ≥ 1600°C |
Pagbatok sa Kemikal | Kasarangan | Pobre | Maayo kaayo |
Kaangayan sa Limpyo nga Kwarto | Medium | Ubos | Taas kaayo |
Pagsul-ob sa Pagbatok | Medium | Ubos | Talagsaon |
Dielectric nga Kusog | Ubos | Medium | Taas |
Custom Machining Precision | Limitado | Kasarangan | Taas (± 0.01mm posible) |
Teknikal nga Detalye
Parameter | Bili |
---|---|
Materyal | Taas nga kaputli nga Alumina (≥ 99.5%) |
Temperatura sa Pagtrabaho | Hangtod sa 1600 ° C |
Pagkagahi sa nawong | Ra ≤ 0.2 µm (opsyonal) |
Nahiangay nga Mga Laki sa Wafer | 2 "ngadto sa 12" o naandan |
Pag-agwanta sa Flatness | ± 0.01 mm (depende sa aplikasyon) |
Suporta sa Vacuum Suction | Opsyonal, napasadya nga mga kanal |
Mga Opsyon sa Pag-mount | Bolt-through, flange, slotted nga mga buho |
Kanunay nga Gipangutana nga mga Pangutana (FAQ)
Q1: Mahimo bang i-integrate ang end effector sa kasamtangan nga robotic system?
A1:Oo. Gisuportahan namo ang pag-customize base sa imong robotic interface. Mahimo nimong ipadala kanamo ang usa ka drowing sa CAD o mga sukat sa flange alang sa tukma nga pagpahiangay.
Q2: Ang mga ceramic nga bukton ba dali nga mabuak panahon sa paggamit?
A2:Samtang ang seramik kay brittle sa kinaiyahan, ang among mga disenyo naggamit ug optimized geometry aron mamenosan ang konsentrasyon sa stress. Ubos sa husto nga mga kondisyon sa paggamit, naghatag sila labi ka taas nga kinabuhi sa serbisyo kaysa metal o plastik.
Q3: Posible ba nga gamiton kini sa ultra-high vacuum o plasma etching chambers?
A3:Oo. Ang alumina nga seramik dili-outgassing, thermally stable, ug corrosion resistant—haom kaayo alang sa high-vacuum, reactive gas, o plasma environment.
Q4: Giunsa kini nga mga sangkap gilimpyohan o gipadayon?
A4:Mahimo silang limpyohan gamit ang tubig sa DI, alkohol, o mga detergent nga nahiuyon sa limpyo nga kwarto. Walay espesyal nga pagmentinar ang gikinahanglan tungod sa ilang kemikal nga kalig-on ug inert nga nawong.
Mahitungod Kanato
Ang XKH nag-espesyalisar sa high-tech nga pagpalambo, produksyon, ug pagbaligya sa espesyal nga optical glass ug bag-ong kristal nga mga materyales. Ang among mga produkto nagsilbi nga optical electronics, consumer electronics, ug militar. Nagtanyag kami og Sapphire optical components, mobile phone lens covers, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ug semiconductor crystal wafers. Uban sa hanas nga kahanas ug cutting-edge nga ekipo, kita milabaw sa non-standard nga pagproseso sa produkto, nga nagtumong nga mahimong usa ka nag-unang optoelectronic materyales high-tech nga negosyo.
