Ang 6pulgada nga SiC Epitaxiy wafer N/P type modawat sa customized
Ang proseso sa pag-andam sa silicon carbide epitaxial wafer usa ka pamaagi gamit ang teknolohiya nga Chemical Vapor Deposition (CVD). Ang mosunod mao ang may kalabutan nga teknikal nga mga prinsipyo ug mga lakang sa proseso sa pagpangandam:
Teknikal nga Prinsipyo:
Chemical Vapor Deposition: Ang paggamit sa hilaw nga materyal nga gas sa gas phase, ubos sa piho nga mga kondisyon sa reaksyon, kini decomposed ug gibutang sa substrate aron maporma ang gitinguha nga manipis nga pelikula.
Gas-phase reaksyon: Pinaagi sa pyrolysis o cracking reaksyon, lain-laing mga hilaw nga materyal nga mga gas sa gas phase kay chemically nausab sa reaksyon lawak.
Mga lakang sa proseso sa pag-andam:
Pagtambal sa substrate: Ang substrate gipailalom sa paglimpyo sa nawong ug pag-pretreatment aron masiguro ang kalidad ug pagkakristal sa epitaxial wafer.
Reaction chamber debugging: adjust sa temperatura, pressure ug flow rate sa reaksyon chamber ug uban pang mga parameter aron masiguro ang kalig-on ug pagkontrol sa mga kondisyon sa reaksyon.
Pagsuplay sa hilaw nga materyales: pagsuplay sa gikinahanglan nga gas nga hilaw nga materyales sa reaksyon nga chamber, pagsagol ug pagkontrol sa rate sa pag-agos kung gikinahanglan.
Proseso sa reaksyon: Pinaagi sa pagpainit sa reaction chamber, ang gaseous feedstock moagi sa kemikal nga reaksyon sa chamber aron makagama sa gusto nga deposito, ie silicon carbide film.
Pagpabugnaw ug pagdiskarga: Sa katapusan sa reaksyon, ang temperatura anam-anam nga gipaubos sa pagpabugnaw ug pagpalig-on sa mga deposito sa reaction chamber.
Epitaxial wafer annealing ug post-processing: ang gideposito nga epitaxial wafer gi-annealed ug post-process aron mapalambo ang electrical ug optical properties niini.
Ang piho nga mga lakang ug kondisyon sa silicon carbide epitaxial wafer nga proseso sa pag-andam mahimong magkalainlain depende sa piho nga kagamitan ug kinahanglanon. Ang sa ibabaw usa lamang ka kinatibuk-ang dagan sa proseso ug prinsipyo, ang piho nga operasyon kinahanglan nga ipasibo ug ma-optimize sumala sa aktuwal nga sitwasyon.