4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch produksyon Dummy grado Dia150mm Silicon carbide substrate
6 pulgada nga diyametro nga silicon carbide (SiC) nga detalye sa substrate
Grado | Zero MPD | Produksyon | Grado sa Pagpanukiduki | Dummy nga Grado |
Diametro | 150.0mm±0.25mm | |||
Gibag-on | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Orientasyon sa Wafer | Sa axis: <0001> ± 0.5 ° alang sa 4H-SI | |||
Panguna nga Flat | {10-10}±5.0° | |||
Panguna nga Patag nga Gitas-on | 47.5mm±2.5mm | |||
Eksklusyon sa kilid | 3mm | |||
TTV/Bow/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Densidad sa Micropipe | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Resistivity 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Pagkagahi | Polish Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
# Mga liki sa taas nga intensity nga kahayag | Wala | 1 gitugotan, ≤2mm | Cumulative gitas-on ≤10mm, single length≤2mm | |
* Hex plates pinaagi sa taas nga intensity nga kahayag | Kumulatibo nga lugar ≤1% | Natipon nga lugar ≤ 2% | Kumulatibo nga lugar ≤ 5% | |
* Polytype nga mga lugar pinaagi sa taas nga intensity nga kahayag | Wala | Natipon nga lugar ≤ 2% | Kumulatibo nga lugar ≤ 5% | |
*& Mga garas sa taas nga intensity nga kahayag | 3 scratches ngadto sa 1 x wafer diameter cumulative length | 5 scratches ngadto sa 1 x wafer diameter cumulative length | 5 ka garas sa 1 x wafer diametro cumulative nga gitas-on | |
Edge chip | Wala | 3 gitugotan, ≤0.5mm matag usa | 5 gitugotan, ≤1mm matag usa | |
Kontaminasyon sa taas nga intensity nga kahayag | Wala
|
Pagbaligya ug Serbisyo sa Kustomer
Pagpalit sa mga Materyal
Ang departamento sa pagpalit sa mga materyales ang responsable sa pagtigum sa tanan nga mga hilaw nga materyales nga gikinahanglan aron mahimo ang imong produkto. Ang kompleto nga pagsubay sa tanan nga mga produkto ug materyales, lakip ang kemikal ug pisikal nga pagtuki anaa kanunay.
Kalidad
Sa panahon ug pagkahuman sa paghimo o pag-machining sa imong mga produkto, ang departamento sa pagkontrol sa kalidad nalangkit sa pagsiguro nga ang tanan nga mga materyales ug pagtugot makatagbo o molapas sa imong detalye.
Serbisyo
Gipasigarbo namo ang among kaugalingon nga adunay mga kawani sa sales engineering nga adunay kapin sa 5 ka tuig nga kasinatian sa industriya sa semiconductor. Gibansay sila sa pagtubag sa teknikal nga mga pangutana ingon man paghatag og tukma sa panahon nga mga kinutlo alang sa imong mga panginahanglan.
naa kami sa imong kiliran bisan unsang orasa kung adunay ka problema, ug sulbaron kini sa 10 oras.