2inch SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal
SiC Crystal Growth Technology
Ang mga kinaiya sa SiC nagpalisud sa pagtubo sa usa ka kristal.Kini nag-una tungod sa kamatuoran nga walay liquid phase nga adunay stoichiometric ratio sa Si: C = 1: 1 sa atmospheric pressure, ug dili posible nga motubo ang SiC pinaagi sa mas hamtong nga mga pamaagi sa pagtubo, sama sa direktang pamaagi sa pagdrowing ug ang pagkahulog nga paagi sa crucible, nga mao ang mga panguna sa industriya sa semiconductor.Sa teoriya, ang solusyon nga adunay stoichiometric ratio sa Si: C = 1: 1 makuha lamang kung ang presyur mas dako pa sa 10E5atm ug ang temperatura mas taas kay sa 3200 ℃.Sa pagkakaron, ang mainstream nga mga pamaagi naglakip sa PVT method, liquid-phase method, ug high-temperature vapor-phase chemical deposition method.
Ang mga SiC wafer ug kristal nga among gihatag kasagaran gipatubo pinaagi sa physical vapor transport (PVT), ug ang mosunod usa ka mubo nga pasiuna sa PVT:
Ang pisikal nga vapor transport (PVT) nga pamaagi naggikan sa gas-phase sublimation technique nga giimbento ni Lely niadtong 1955, diin ang SiC powder gibutang sa usa ka graphite tube ug gipainit sa taas nga temperatura aron ang SiC powder madugta ug sublimate, ug dayon ang graphite. Ang tubo gipabugnaw, ug ang mga decomposed gas-phase nga sangkap sa SiC powder gideposito ug gi-kristal isip SiC nga mga kristal sa palibot nga bahin sa graphite tube.Bisan tuod kini nga pamaagi lisud nga makakuha og dako nga gidak-on nga SiC nga single nga kristal ug ang proseso sa pagdeposito sulod sa graphite tube lisud kontrolahon, kini naghatag og mga ideya alang sa sunod nga mga tigdukiduki.
YM Tairov ug uban pa.sa Russia gipaila ang konsepto sa binhi nga kristal sa niini nga basehan, nga nakasulbad sa problema sa dili makontrol nga kristal nga porma ug nucleation posisyon sa SiC kristal.Ang misunod nga mga tigdukiduki nagpadayon sa pag-uswag ug sa kadugayan nakahimo sa physical vapor transfer (PVT) nga pamaagi nga gigamit sa industriya karon.
Ingon ang labing una nga pamaagi sa pagtubo sa kristal nga SiC, ang PVT karon ang labing panguna nga pamaagi sa pagtubo alang sa mga kristal nga SiC.Kung itandi sa ubang mga pamaagi, kini nga pamaagi adunay ubos nga mga kinahanglanon alang sa mga kagamitan sa pagtubo, yano nga proseso sa pagtubo, lig-on nga pagkontrol, hingpit nga pag-uswag ug panukiduki, ug nahimo na nga industriyalisado.
Detalyadong Diagram
![asd (1)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-19.jpg)
![asd (2)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-29.jpg)
![asd (3)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-35.jpg)
![asd (4)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-42.jpg)